全新的12寸大工作平台半导体/FPD检查显微镜，支持≤300mm 晶圆及17英寸液晶面板的检查，含4、6、8、12英寸多种转盘，可适用不同尺寸的晶圆检查。人机工程学设计提升，为用户提供更加灵活、快捷的操作体验。
为用户提供高效的半导体\FPD 光学检测解决方案
仰角可调观察筒
0-35°观察角度可调，适合不同身高的用户，降低了对工作环境的要求，让不同的使用者都能找到上佳的观察角度，减轻了长时间工作带来的不适与疲劳，大幅度提高工作效率。
全新离合驱动式载物台
MX12R 采用离合式手柄，用户按下离合扳手就可灵活移动平台，无需长时间捏紧手柄；按下离合按钮，取消快速移动。避免长时间操作出现手麻现象，并加快观察速度。 MX12R 引入精密导轨传动机构，移动更轻更顺畅，产品更加稳定可靠。
安全、高速的电动式物镜转换器
设有前进、后退两档切换模式，可快速、精确定位到所需要的观察倍率，重复定位精度高。机械式的切换模式，有效提升了转换器的使用寿命。
按键触手可及，助您提高工作效率
MX12R 物镜与孔径光阑采用全新的电动控制系统，其操作按键位于仪器正前方，让您触手可及。人性化的电动设计不仅避免了频繁的手动操作步骤，也使您的检测工作也更加精确、灵活。
防震支架设计
机身由六端支架支撑，低重心、高稳定性全金属机架，具备很好的抗震功能，确保像质稳定。
内置式灵活搬运装置
MX12R 机身采用全金属材质，稳定性非常棒。在底部两端设有内置搬运装置，搬运时，用户只需将内置搬运手柄旋转拧出，反向拧进，即可形成坚固的搬运装置。此装置的设定，能够将机器重量均匀分配，只需两人即可完成搬运，有效避免搬运过程中，无从下手、移动困难、重量分布不均匀、发生碰撞等诸多问题。搬运过程中，为防止仪器平台移动而造成损坏，可将平台锁紧，以确保仪器的安全稳固性。
落射照明器
孔径光阑与物镜倍率自动匹配，无需再手动调节，更加快捷、高效，让不同使用者都有同样的观察效果。
暗场模式下，光阑自动打开，减小使用者对显微镜的专业技术要求，让显微观察简单化。
满足自动化的应用需求
● 全新升级的MX12RMOT，全自动操作模式，使您的检测工作更加高效。
● X\Y\Z 三轴电动控制，电动型物镜转换，孔径光阑自动匹配。
● 可通过软件或者手柄控制12 英寸平台X、Y、Z 轴的运动，完成图像拼接功能，完美的进行全局图像的观察、分析。
● 独立的操作手柄让平台移动更加简单、方便，避免了因人员操作不当等原因引起的平台损坏。
丰富的应用领域
MX12R 集成了明场、暗场、偏光、DIC 等多种观察功能。 广泛应用于半导体、FPD、电路封装、电路基板、材料、铸件金属陶瓷部件、精密磨具等检测。
丰富多样的各项附件可满足多种工作环境与观察模式为您展现真实、清晰的显微图像
国际领先级大视野目镜
● 配置25mm 宽视野目镜，相对于常规22mm 的视场范围，视野更加平坦、宽广，并且视场边缘都能保证清晰明亮，给用户更加舒适的视觉感受。
● 提供更加平坦的观察范围，提高工作效率。更大值域屈光度调节范围可满足更多用户的使用需求。
长工作距物镜
● 配置全套专业半复消色差金相物镜，采用高透过率镜片和先进的镀膜技术。
● 长工作距设计，可有效避免用户在切换时物镜与样品发生碰撞。配置20X 长工作距物镜，满足工业检测领域的需求。
● 每个镜头均严格挑选高透过率的镜片和先进的镀膜技术，可真实还原样品的自然色彩。
型号 | 倍率 | 数值孔径 | 工作距离 | 盖玻片厚度 | 齐焦距离 | 共轭距 |
（N.A） | (mm) | (mm) | (mm) | (mm) | ||
无限远明暗场半复消金相DIC物镜 | 5X | 0.15 | 13.5 | - | 45 | ∞ |
10X | 0.30 | 9.0 | - | |||
20X | 0.50 | 2.5 | 0 | |||
50X | 0.80 | 1.0 | 0 | |||
100X | 0.90 | 1.0 | 0 | |||
型号 | 倍率 | 数值孔径 | 工作距离 | 盖玻片厚度 | 齐焦距离 | 共轭距 |
（N.A） | (mm) | (mm) | (mm) | (mm) | ||
无限远长工作距明暗场半复消金相DIC物镜 | 20X | 0.40 | 8.5 | 0 | 45 | ∞ |
型号 | 倍率 | 数值孔径 | 工作距离 | 盖玻片厚度 | 齐焦距离 | 共轭距 |
（N.A） | (mm) | (mm) | (mm) | (mm) | ||
无限远长工作距明暗场半复金相物镜 | 50X | 0.55 | 7.50 | 0 | 45 | ∞ |
100X | 0.80 | 2.1 | ||||
型号 | 倍率 | 数值孔径 | 工作距离 | 盖玻片厚度 | 齐焦距离 | 共轭距 |
（N.A） | (mm) | (mm) | (mm) | (mm) | ||
无限远明场半复消DIC物镜 | 5X | 0.15 | 19.5 | - | 45 | ∞ |
10X | 0.30 | 10.9 | - | |||
20X | 0.50 | 3.2 | 0 | |||
50X | 0.80 | 1.2 | 0 | |||
100X | 0.90 | 1.0 | 0 |
诺曼尔斯基微分干涉衬比系统
● 用高性能微分干涉组件，可以将明场观察下无法检测的细微高低差，转化为高对比度的明暗差并以立体浮雕形式表现出来，广泛用于LCD 导电粒子、精密磁盘表面划痕检测等领域。
系统配置图
外形尺寸图
12寸大工作平台半导体/FPD检查显微镜MX12R配置参数
型号 | MX12R |
光学系统 | 无限远色差校正光学系统 |
观察方式 | 明场/ 暗场/ 偏光/DIC |
观察筒 | 无限远铰链三通观察筒，0~35°倾角可调，正像， 瞳距调节:50-76mm，分光比100:0 或0:100。 |
目镜 | 高眼点大视野平场目镜PL10X/25mm，视度可调，可带单刻度十字分划板 |
物镜 | 无限远明暗场半复消金相DIC 物镜 5X、10X、20X、50X（选配：100X） |
无限远长工作距明暗场半复消金相DIC 物镜20X | |
无限远长工作距明暗场半复消金相物镜50X 100X | |
转换器 | 明暗场六孔电动转换器，带DIC 插槽 |
调焦机构 | 反射式机架：前置低手位粗微同轴调焦机构。粗调行程35mm，微调精度0.001mm。带有防止下滑的调节松紧装置和随机上限位装置。内置100-240V 宽电压系统 |
载物台 | 右手位14×12 英寸三层机械移动平台，低手位 X、Y 方向同轴调节 ；平台面积 718mmX420mm，移动范围 ：356mmX305mm ；带离合器手柄，可用于全行程范围内快速移动 ；玻璃载物台板 ( 反射用） |
电动平台：面积495mmX641mm，移动范围：306mmX306mm ；软件控制X、Y 移动，重复定位精度，（3+L/50）μm 带平板平台 | |
照明系统 | 明暗场反射照明器, 带可变电动孔径光阑，视场光阑, 中心均可调；带明暗场照明切换装置；带滤色片插槽与偏光装置插槽 |
摄影摄像 | 0.5X/0.65X/1X 摄像接筒，C 型接口，可调焦 |
其他 | 起偏镜插板，固定式检偏镜插板，360°旋转式检偏镜插板；反射用干涉滤色片组；高精度测微尺；DIC 微分干涉组件 |
选配 | 工业相机：1000万、1500万、2000万，CCD或CMOS相机 |
分析软件：自开发专业测量系统 |
