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半导体金相显微镜
晶圆半导体检查显微镜
晶圆半导体检查显微镜

产品型号:MX系列
发布时间:2018-6-8 16:17:56
访问次数:1539 次

半导体金相显微镜-晶圆半导体检查显微镜介绍

晶圆半导体检查显微镜MX系列各项操作根据人机工程学设计,减轻操作者的使用疲劳。其模块化的部件设计,可对系统功能进行自由组合。涵盖明场、暗场、斜照明、偏光、DIC微分干涉等多种观察功能,可根据实际应用,进行功能选择。

宽视场铰链式三目观察筒

正像铰链三目观察筒,所成像的方位与物体实际方向相同,物体移动的方向跟像面移动的方向相同,便于观察与操作.

大行程移动平台设计

采用6寸平平台设计,行程158×158mm,可适用于对应尺寸的晶圆或FPD检测,也可用于小尺寸样品的阵列检测。

高精度物镜转换器

转换器采用精密轴承设计,转动手感轻巧舒适,重复定位精度高,物镜转换后的同心度也得到较好的控制。

稳重的机架结构设计

工业检测级显微镜镜体,低重心、高刚性、高稳定性金属机架,保证了系统的抗震能力与成像稳定性。

其前置低手位粗微调同轴调焦机构,内置100-240V宽电压变压器,可适应不同地区的电网电压。底座内部设计有风循环散热系统,长时间使用也不会使机架过热。

半导体检查显微镜MX6R标准配置参数

型号  

MX6R(反射)

MX6RT(透反射)

可选择的观察方法  

明场/明暗场/偏振光/DIC

光学系统  

无限远色差校正光学系统  

目镜  

PL10X/22平场高眼点目镜  

观察筒  

正像观察筒,25°铰链式三目,分光比,双目:三目=100:0或0:100

物镜  

LMPlan无限远长工作距明场金相物镜5X、10X、20X、50X(选配:2X、100X)

LMPlan-BD无限远长工作距明暗场金相物镜5X、10X、20X、50X(选配:2X、100X)

转换器  

5孔内倾式转换器,带DIC插槽  

载物台  

6”三层机械移动平台,行程158x 158mm,右手位X、Y移动手轮,配离合器手柄,可快速移动

/

透射行程:100x100mm

玻璃工作平台

显微镜镜体  

粗微调同轴、粗调行程33mm,微调精度0.001mm,,带粗调机构上限位及松紧调节装置。内置90-240V宽电压变压器,

单路电源输出

双路电源输出

反射照明器系统  

带可变视场光阑与孔径光阑,均可调中心;带滤色片插槽与偏光装置插槽;带明暗场切换机构,预置中心

采用数字调光,具有光强设定与复位功能

光强连续可调

透射照明系统  

/

单颗大功率5W LED,白色,光强连续可调。N..A.0.5聚光镜,带可变孔径光阑  


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