◆电动Z轴移动机构通过使用专用的控制器简化了的垂直移动操作。
◆新款测量显微镜可配备一个新型辅助对焦机构，以提供更清晰和更的对焦。相比以前型号，高精度Z轴测量更简便。
◆得益于各种电动控制以及人体工程学设计，极大地改善了易操作性。即便使用大尺寸的载物台，操作起来也十分得心应手。
◆X、Y和Z轴的较小单位可以在 0.1 μm和0.5μm之间切换，此外，还可以在毫米、微米、英寸和密耳之间切换显示单位。
◆使用数码相机和 M- Inspect 测量软件进行数字图像拍摄可通过的自动边缘检测进行速测量。
●操作便捷
集中化显微镜操作，调焦手轮、速度控制、遥控开关均可实现单手盲操作，实现大试样高精度快速测量。
●电动Z轴调焦
使用电动调焦装置可以大幅提高操作性，并减少了进行聚焦和高度测量时的操作疲劳。
●稳固的机械机构
充分考虑工业现场环境的结构设计，内置减震机构，保证了高水平的重复性精度。
●高度灵活
模块化的硬件、功能强大的软件方案，自由搭配成像光路、载物台、FA聚焦导航、旋转工作台、晶圆转盘等。
●高密度拼接
使用高密度拼接功能、多幅图像可以拼接扩展为一幅大视野全景图像
电动测量显微镜HTM系列配置参数
型号 | HTM150D | HTM200D | HTM300D | HTM400D | |
图像 | 正像/反像 | ||||
观察方法 | 明场、暗场、偏光、微分干涉观察 | ||||
目镜 | 屈光度可调10X（视场数：22mm) | ||||
物镜 | 平场消色差/平场半复消色差系列镜头 | ||||
调焦系统 | 最大被测物高度 | 200mm | |||
电动调焦参数 | 微调：50μm、100μm、400μm/圈可选 点动：100μm /步 粗调：10mm/秒 | ||||
调焦精度 | 最小步距 | 0.1μm | |||
测量重复性 | ±1μm | ||||
照明装置 | 透射照明 | 远心照明、无级亮度可调、5W LED光源 | |||
反射照明 | 科勒照明、可调孔径光阑、无级亮度可调、5W LED光源 | ||||
辅助照明 | FA辅助聚焦、LED环型光源、光纤冷光源 | ||||
载物台 | 测量范围 | 200*150mm | 300*200mm | 300*300mm | 400*300mm |
金属台尺寸 | 400*280mm | 500*350mm | 500*450mm | 600*450mm | |
玻璃尺寸 | 245*192mm | 350*250mm | 350*350mm | 450*350mm | |
快速释放装置 | 标准配置 | ||||
遥控开关 | RESET（复位）与SEND（发送）按钮位于X手轮附近 | ||||
数字计数器 | 最小读数 | 可在0.5/0.1μm选择 | |||
功能 | 调零、分中、方向转换、公英制转换、RS232输出 | ||||
测量精度 | （3+0.02L）μmL为测量长度 | ||||
功耗 | 230W、85～240VAC 50/60HZ | ||||
主机 | 外型尺寸 | 659*660*744mm | 659*710*744mm | 659*660*744mm | 659*710*744mm |
重量 | 80KG | 110KG | 160KG | 175KG | |
