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工具测量显微镜
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电动测量显微镜
电动测量显微镜

产品型号:HTM系列
发布时间:2023-9-1 17:00:43
访问次数:2832 次

工具测量显微镜-电动测量显微镜介绍

◆电动Z轴移动机构通过使用专用的控制器简化了的垂直移动操作。

◆新款测量显微镜可配备一个新型辅助对焦机构,以提供更清晰和更的对焦。相比以前型号,高精度Z轴测量更简便。

◆得益于各种电动控制以及人体工程学设计,极大地改善了易操作性。即便使用大尺寸的载物台,操作起来也十分得心应手。

◆X、Y和Z轴的较小单位可以在 0.1 μm和0.5μm之间切换,此外,还可以在毫米、微米、英寸和密耳之间切换显示单位。

◆使用数码相机和 M- Inspect 测量软件进行数字图像拍摄可通过的自动边缘检测进行速测量。

●操作便捷

集中化显微镜操作,调焦手轮、速度控制、遥控开关均可实现单手盲操作,实现大试样高精度快速测量。

●电动Z轴调焦

使用电动调焦装置可以大幅提高操作性,并减少了进行聚焦和高度测量时的操作疲劳。

●稳固的机械机构

充分考虑工业现场环境的结构设计,内置减震机构,保证了高水平的重复性精度。

●高度灵活

模块化的硬件、功能强大的软件方案,自由搭配成像光路、载物台、FA聚焦导航、旋转工作台、晶圆转盘等。

●高密度拼接

使用高密度拼接功能、多幅图像可以拼接扩展为一幅大视野全景图像

电动测量显微镜HTM系列配置参数

型号

HTM150D

HTM200D

HTM300D

HTM400D

图像

正像/反像

观察方法

明场、暗场、偏光、微分干涉观察

目镜

屈光度可调10X(视场数:22mm)

物镜

平场消色差/平场半复消色差系列镜头

调焦系统

最大被测物高度

200mm

电动调焦参数

微调:50μm、100μm400μm/圈可选

点动:100μm /

粗调:10mm/秒

调焦精度

最小步距

0.1μm

测量重复性

±1μm

照明装置

透射照明

远心照明、无级亮度可调、5W LED光源

反射照明

科勒照明、可调孔径光阑、无级亮度可调、5W LED光源

辅助照明

FA辅助聚焦、LED环型光源、光纤冷光源

载物台

测量范围

200*150mm

300*200mm

300*300mm

400*300mm

金属台尺寸

400*280mm

500*350mm

500*450mm

600*450mm

玻璃尺寸

245*192mm

350*250mm

350*350mm

450*350mm

快速释放装置

标准配置

遥控开关

RESET(复位)与SEND(发送)按钮位于X手轮附近

数字计数器

最小读数

可在0.5/0.1μm选择

功能

调零、分中、方向转换、公英制转换、RS232输出

测量精度

(3+0.02L)μmL为测量长度

功耗

230W、85~240VAC 50/60HZ

主机

外型尺寸

659*660*744mm

659*710*744mm

659*660*744mm

659*710*744mm

重量

80KG

110KG

160KG

175KG


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