LED芯片检查显微镜MX8R采用研究级显微镜RX系列的新照明系统和光学系统,照明均匀,成像清晰。突破性的大金相机架设计,可承载8英寸超大工作平台,稳固创新的机械结构更好的满足专业市场需求。
明场观察(透射)
5W大功率LED,配以N.A.0.5聚光镜,可以透照明下,观察LCD彩色液晶显示屏,器件框架边缘等。
透射照明与反射照明为独立控制,即可同时亮,也可单独亮。
LCD 10X透射光
明场观察(反射)
远心坷拉反射照明系统,配以全新设计的无限远平场消色差长工作距金相物镜,从低倍到高倍,都能得到清晰、平坦、明亮的高画质显微图像。
集成电路5X 明场 集成电路100X 明场
简易偏光观察
将起偏器镜及检偏镜插板插入照明的指定位置,即可进行简易偏光观察。检偏镜可分为固定式和360°旋转式两种。
PCB横截面 20X 偏振光
暗场观察
将暗场照明拉杆拉到指定位置,即可使用暗场功能,可以观察物体表面的各种划痕、杂质点及其他细微缺陷,暗场功能只限于MX8R机型。
FPC 10X 暗场
DIC微分干涉观察
在正交偏光的基础上,插入DIC棱镜,即可进行DIC微分干涉相衬观察。使用DIC技术,可以使物镜表面微小的高低差产生明显的浮雕效果,极大的提高图像的对比度。
5X、10X、20X专为DIC设计,使得整个视场的干涉一致,微分干涉效果非常出色,高倍物镜DIC效果也较好。
导电粒子 20X DIC 晶圆 50X DIC
LED芯片检查显微镜MX8R产品尺寸图
LED芯片检查显微镜MX8R技术规格
光学系统 | 无限远色差光学系统 |
观察方式 | 明场/暗场/偏光/DIC |
观察筒 | 30°倾斜,正像,无限远铰链三通观察筒,曈距调节:50-76mm,分光比:100:0或0:100 |
30°倾斜,倒像,无限远铰链三通观察头,曈距调节范围50-76mm,三档式分光比:0:100或20:80或100:0 | |
目镜 | 高眼点大视野平场目镜PL10X/25mm,视度可调,可带单刻度十字分划板 |
高眼点大视野平场目镜PL10X/26.5mm,视度可调,可带单刻度十字分划板 | |
物镜 | 明暗场半复消金相物镜(5X、10X、20X、50X 、 100X) |
无限远长工作距平场明暗场消色差金相物镜(5X、10X、20X、50X 、 100X) | |
转换器 | 明暗场五孔转换器,带DIC插槽 |
明暗场、明场六孔转换器,带DIC插槽 | |
明场七孔转换器,带DIC插槽 | |
调焦机构 | 反射式机架,前置低手位粗微同轴调焦机构。粗调行程33mm,微调精度0.001mm ;带有防止下滑的调节松紧装置和随机上限位装置;内置100-240V宽电压系统,带光亮度设定暗扭与复位按扭 |
明暗场反射照明器,带可变孔径光阑,视场光阑,中心均可调;带明暗场照明切换装置;带滤色片插槽与偏光装置插槽 | |
载物台 | 8英寸三层机械移动平台,低手位X、Y方向同轴调节;平台面积525mmx330mm,移动范围: 210mmx210mm ;带离合器手柄,可用于全行程范围内快速移动;玻璃载物台板,(反射用) |
反射照明系统 | 明暗场反射照明器,带可变孔径光阑,视场光阑,中心均可调;带明暗场照明切换装置;带滤色片插槽与偏光装置插槽 |
摄影摄像 | 0.5X/0.65X/1X摄像接筒,C型接口,可调焦 |
其他 | 起偏镜插板,固定式检偏镜插板,360°旋转式检偏镜插板;DIC微分干涉组件;反射用干涉滤色片组;高精度测微尺 |