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3D测量激光显微镜OLS5000功能特点(一)

作者:1,2,3,4,5 来源:原创 日期:2020-12-17 11:08:17 人气:546

提供可靠数据的先进技术

1、3D测量激光显微镜OLS5000可检测细微纹理和缺陷,有准确的横向分辨率。3D测量激光显微镜OLS5000采用405纳米紫色激光和专用高数值孔径可以捕捉到传统光学显微镜、白光干涉仪或红色激光显微镜无法发现的精细纹理和缺陷。

2、奥林巴斯扫描技术。全新研发的MEMS扫描振镜,能够实现具有较低扫描轨迹失真和极小光学像差的精确X-Y扫描。某些激光显微镜无法避免视场周边区域测量值的波动,但是3D测量激光显微镜OLS5000无论是测量视场中间还是边缘,均可获得一致的结果。

3、检测陡峭斜面和近纳米级台阶的形貌。采用4K扫描技术可在X轴方向扫描4096像素,是传统机型的四倍。由此提高了高度测量的可靠性,改善了分辨率,信噪比提升了两倍。3D测量激光显微镜OLS5000无需图像处理就能检测几乎垂直的陡峭斜面和极低的台阶。

4、快速,高精度的测量。3D测量激光显微镜OLS5000采用了用于3D数据构建的PEAK算法。该算法可获得从低倍率到高倍率的高精度数据,并可缩短数据采集时间。

5、自动选择数据采集的通道。3D测量激光显微镜OLS5000采用双共焦系统,可采用不同孔径的两个共焦光学通道组成。根据镜头类型和数据采集模式选择通道,实现可靠数据的快速采集。

6、Sq噪声(测量噪声)保证,可靠运行。Sq噪声是对测量工具对高度检测的分辨率的量化指标。3D测量激光显微镜OLS5000可保证测量噪音符合ISO25178-700标准的要求。采用MPLAPON100xLEXT物镜时测量噪声为1纳米。


7、LEXT专用物镜,针对405纳米激光优化的物镜。奥林巴斯可提供针对405纳米激光减小像差的10x至100x系列物镜。包括低倍率和长工作距离物镜。所有LEXT专用物镜均可确保测量性能,由此可以选择满足您观察样品的物镜。

8、智能判定功能,捕捉真实形貌。由于传统激光显微镜采用诸如图像平滑处理的方式来消除噪声,有时会将测得的正确的细微高度不规则数据连同噪声一起消除。

3D测量激光显微镜OLS5000采用奥林巴斯自动检测可靠数据的智能判定算法,可在不丢失细微高度不规则数据的情况下实现准确测量。

9、积极的可追溯性,实现可靠运行。为确保高质量的产品性能,3D测量激光显微镜OLS5000从物镜到激光头的每个组件均采用严格的生产系统制造而成。测量结果基于与国家工业标准相关的可追溯系统。在显微镜交付时,经验丰富工程师将进行系统的最终调整和校准,根据您的应用将显微镜调整到上佳状态。

10、保证准确度和重复性。测量工具的性能通常用准确度表示测量值与其真实值的接近程度,用重复性表示重复测量值的变化程度。奥林巴斯以基于可追溯系统的显微镜保证准确度和可重复性,从而让您对测量结果充满信心。

11、混合匹配算法。3D测量激光显微镜OLS5000的电动载物台中包含一个长度测量模块,奥林巴斯以此确保拼接图像数据的准确性。尽管以前的激光显微镜也可根据图案匹配拼接数据,但3D测量激光显微镜OLS5000能够将长度测量模块的位置信息添加到模式匹配中,以可担保的精度获得高可靠性的拼接数据。

12、提供特定于具体操作环境的测量性能担保,值得您信赖的奥林巴斯性能标准。使用任何测量工具的关键在于能够在其具体操作环境中实现上佳测量性能。如果工具性能仅通过出厂前的检验保证,而不考虑实际操作环境,那么该工具在安装之后可能无法获得相同效果。为了确保您能够获得所需的性能,奥林巴斯工程师将在您的操作环境组装、调整和校准该工具。校准证书和检验结果仅在显微镜成功安装后才会签发,由此让您将能够充满信心地使用该系统。

13、精度管理功能,简单点击一次即可完成设备检查。在将测量结果记录作为证据使用时,管理设备的状态就非常重要。3D测量激光显微镜OLS5000提供校准功能,可在每次测量之前使用带有校准证书的校准样品(选配)对设备状态进行校准。点击一一个按钮即可使用校准样品完成校准工作,且校准结果将作为记录添加到报告中。

14、混合式减振机构,稳定性和抗振性好。3D测量激光显微镜OLS5000配有采用螺旋弹簧和阻尼橡胶组成的减振装置稳定操作环境。

15、全球服务体系,即世界各地的服务站点。奥林巴斯提供全球技术支持(日本、美国、德国,中国、韩国、新加坡、台湾、印度和澳大利亚)。每个服务地点均配有拥有激光显微镜技术许可证的工程师,以及经过验证的校准系统,以此确保产品安装后的可靠使用。

人性化的高分辨率、高倍率观察

1、实时宏观测图,跟踪样品位置。当载物台移动时,系统生成的全景宏观地图将实时对移动路径上的图像进行拼接,帮助用户找到样品宏观地图也可插入到报告之中,将样品的放大图像与其整体图像的位置相关联。

2、连续自动对焦,解决聚焦难题。显微镜的连续自动对焦功能可较大程度减少手动调整需求,在位置搜索或更换物镜时可让图像始终保持对焦状态。保持聚焦跟踪可让用户能够快速可靠地进行观察操作。

3、用于纳米级实时观察的微分干涉显微镜(DIC),检测纳米级不规则形状。微分干涉显微镜(DIC)可用于观察通常超出激光显微镜分辨能力的纳米级表面轮廓,甚至使用5x或10x低倍率物镜也没有问题。得益 于其DIC激光模式,LEXT®OLS5000激光显微镜即便在相对较低的倍率下也能够获得与电子显微镜相当的实时图像。纳米级划痕和缺陷的实时观察有助于显微镜对相当细微的损伤进行成像。

4、彩色高动态光照渲染(HDR)观察,实现更加清晰的观察。利用显微镜的高动态范围(HDR)功能实时观察低对比度或存在 光晕的样品上的细微形状。HDR以不同的曝光捕捉多个图像并将其进行合成。

5、双模式观察,彩色及激光观察。用户可同时观察激光图像和高分辨率彩色图像。该方法可用于评估颜色差异或金属表面的腐蚀情况,以及在极低对比度的样品(如镜面或薄膜)上聚焦时。

高级智能扫描Ⅱ功能

1、智能扫描 II,按下启动按钮即可进行全自动3D数据采集。使用激光显微镜获取数据时需要进行手动调整,但奥林巴斯的“智能扫描II”可以自动执行这些调整,从而较大程度减小采集数据的差异,提高工作效率。其智能体现以下几个方面:

●扫描速度。奥林巴斯的PEAK算法和双向扫描测量速度比传统激光显微镜快 四倍。光检测灵敏度和数据采集范围再无必要,由此大大地提高了工作效率。

●跳跃扫描。在测量存在近似垂直面(如电子器件或MEMS)样品上的台阶形状时,可通过限制Z方向扫描范围 缩短数据采集时间。在不降低精度的情况下,测量700 μm的台阶大约在15秒左右(使用MPLAPON20x时)。

●HDR扫描(双重扫描)。根据样品和物镜情况,并非总是能够获得准确的形状数据。 3D测量激光显微镜OLS5000配有能够根据每个样品要求进行调整的自 动判别系统。HDR扫描通过改变检测灵敏度的方式获取两组形状数据,并利用其构建准确的形状数据。

2、丰富的数据采集模式,能够进行各种测量。3D测量激光显微镜OLS5000拥有多种数据采集模式可供选择。这其中包括可在单视场内同时获取彩色图像、激光图像和3D形状数据的1-区模 式、获取视场中心单线形状的1-线模式以及可测量薄膜厚度的薄膜厚度模式,如下图。

3、拼接模式,实现宽视场的高分辨率测量。通过在平面方向拼接数据方式可获得高达3600万像素宽视场的准确数据。 可在宏观地图上轻松指定目标区域。 指定的拼接区域可保存留待以后导 入。

4、上表面检测滤色片,分析透明薄膜的上表面形状。

当透明薄膜放在样品表面上时,激光显微镜可利 用最高反射光强度检测界面。上表面检测滤光片 利用偏振特性辅助上表面形状检测。

5、频带扫描。在有限目标区域使用1-区域薄膜厚度模式时,频带扫描可以改变Y方向的数据大小,从而以更高速度获取目标区域的数据。

6、超高清(UHD)模式。它在光学分辨率大于单个像素尺寸时非常有用。其可在不增加镜头或变焦倍率的情况下准确捕捉到细微形状。

由于字数限制,更多关于OLS5000显微镜功能特点介绍请继续浏览3D测量激光显微镜OLS5000功能特点(二),由此给大家带来的不便还请见谅,谢谢!!

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