你对硅片搬送机了解吗？硅片搬送机是做什么用的？带着这些疑问，欢迎大家继续浏览本栏目。

硅片搬送机又称晶圆检查系统，晶圆搬送机，他是一款对传输芯片进行显微镜检查的设备。适用于晶圆前道和后道工艺检查。以国产舜宇AWL812硅片搬送机操作为例。

AWL812硅片搬送机在操作前，可通过扫码枪识别不同晶圆盒（如：Open Cassette、Metal Cassette、FOUP/FOSB等），然后再进行Notch定位，随后通过宏观检查手臂360°检查，操控遥感可随意将晶圆倾斜观察。如此您可观察晶圆正面、背面边缘，背面中间是否有晶圆边缘缺损，表面划伤，表面残留，表面颗粒等问题。接着再通过机械臂安.全传输至光学显微镜微观观察，配置的光学显微镜有明场、暗场、DIC、偏光等多种观察方法，他可以轻松观察到孔未开出，短路，断路，沾污，气泡，残留等问题。软件也会输出详细的数据报告，zui终再将晶圆传送至晶圆盒内，这就是国产舜宇AWL812检查一片晶圆的流程。在实际应用过程中，每道流程都分工合作，紧密相连，且稳定高.效。

目前，苏州汇光科技供应的硅片搬送机有国产舜宇品牌和进口奥林巴斯品牌，如下图：

●进口硅片搬送机

●国产硅片搬送机

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